CNC表面粗糙度·轮廓测量一体机超级形状测量仪-江苏德华精密仪器有限公司

详细说明

• 高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。

• X1轴和Z2轴的驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。

• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。

• Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。

• Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。

• CS-5000CNC带有a轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。

• 带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。

• 可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。

规格

货号			CS-5000CNC	CS-H5000CNC
X1 轴	测量范围		200mm
	分辨力		0.00625µm
	长度基准		激光全息测微计
	驱动速度	CNC型	40mm/s
		操纵杆	0 - 40mm/s
	测量速度		0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)
	测量方向		向前/ 向后
	直线度	(使用标准测针)	(0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)	(0.05+0.0003L)µm L: 驱动长度 (mm)
		(使用二倍长型测针)	(0.2+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)	(0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)
	精度 (20ºC)		±(0.3+0.002L)µm L: 驱动长度 (mm)	±(0.16+0.001L)µm L: 驱动长度 (mm)
Z1 轴 (检出器)	测量范围	(使用标准测针)	12mm	12µm
		(使用二倍长型测针)	24mm	24µm
	分辨力	(使用标准测针)	0.004 µm	0.001 µm
		(使用二倍长型测针)	0.008 µm	0.002 µm
	测针针尖垂直运动		弧形移动
	长度基准		激光全息测微计
	精度 (20ºC)		(20ºC) ±(0.3+\|0.02H\|)µm H: 测量高度 (mm)	±(0.07+\|0.02H\|)µm H: 测量高度 (mm)
	测力	(使用标准测针)	4mN (固定)
		(使用二倍长型测针)	0.75mN(固定)
	跟踪角度		向上: 60º, 向下: 60º, (根据表面粗糙度)
	测针针尖形状	标准测针	针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖
		标准球头测针	球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针
		2倍测针	针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖
		2倍测针	-	针尖角度: 60º, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖 2倍球头测针
		2倍球头测针	球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石
	测针方向		向下
Z2 轴 (立柱)	行程范围	Z2 轴 (立柱, S 型)	300mm
		Z2 轴 (立柱, H 型)	500mm-
	分辨力		0.05µm
	长度基准		反射型线性编码器
	驱动速度	CNC型	200mm/s
		操纵杆	0 - 50mm/s
	基座尺寸 (W×D)		750×600mm
	基座材料		花岗岩